ในฐานะองค์ประกอบหลักของระบบความปลอดภัยและการป้องกันในอุตสาหกรรม เซ็นเซอร์ให้การสนับสนุนข้อมูลที่สำคัญสำหรับการตรวจสอบการทำงานของอุปกรณ์ โดยการตรวจจับการเปลี่ยนแปลงในพารามิเตอร์ทางกายภาพอย่างต่อเนื่องแบบเรียลไทม์ และแปลงเป็นสัญญาณที่สามารถวิเคราะห์ได้ หน้าที่หลัก ได้แก่ การได้มาซึ่งพารามิเตอร์ต่างๆ เช่น การสั่นสะเทือน อุณหภูมิ และความดันอย่างต่อเนื่อง ด้วยการกำหนดค่าขีดจำกัดและการวิเคราะห์แนวโน้ม พวกเขาสามารถระบุข้อผิดพลาดทางกล ความเสี่ยงจากความร้อนสูงเกินไป หรือความผิดปกติของโครงสร้างได้ในเชิงรุก ดังนั้นจึงป้องกันความเสียหายของอุปกรณ์หรือเหตุการณ์ด้านความปลอดภัย เซ็นเซอร์ทางอุตสาหกรรมสมัยใหม่ได้รวมเทคโนโลยี Internet of Things (IoT) เข้าด้วยกัน ช่วยให้สามารถรับส่งข้อมูลระยะไกลและการตรวจสอบการทำงานร่วมกันแบบหลาย- โหนดได้ และด้วยเหตุนี้จึงกลายเป็น "ปลายประสาทสัมผัส" ที่ขาดไม่ได้ของโรงงานอัจฉริยะ
ตัวอย่างของเซ็นเซอร์ตรวจสอบการสั่นสะเทือน หลักการทำงานของเซ็นเซอร์นั้นขึ้นอยู่กับเอฟเฟกต์เพียโซอิเล็กทริกหรือเทคโนโลยี MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ซึ่งช่วยให้เซ็นเซอร์จับสัญญาณการสั่นสะเทือนเล็กๆ น้อยๆ ที่เกิดขึ้นระหว่างการทำงานของอุปกรณ์ได้ ด้วยอัลกอริธึมการวิเคราะห์สเปกตรัม เซ็นเซอร์เหล่านี้สามารถสลายข้อมูลการสั่นสะเทือนออกเป็นส่วนประกอบความถี่ต่างๆ ดังนั้นจึงระบุแหล่งที่มาของความผิดปกติได้ (เช่น การสึกหรอของแบริ่ง ความผิดปกติของเฟืองเมช ฯลฯ) ตัวอย่างเช่น เซ็นเซอร์รุ่นเฉพาะมีการออกแบบมาตรความเร่งแบบสาม-แกนที่สามารถตรวจสอบการสั่นสะเทือนข้ามแกน X, Y และ Z ได้พร้อมกัน ครอบคลุมทั้งช่วงความถี่ต่ำ- (1 Hz–1 kHz) และสูง- (1 kHz–10 kHz) ตรงตามข้อกำหนดการตรวจสอบสำหรับอุปกรณ์ เช่น เครื่องจักรที่หมุนและคอมเพรสเซอร์อย่างมีประสิทธิภาพ ด้วยระดับการป้องกัน IP67 จึง-เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรมที่รุนแรง นอกจากนี้ เอาต์พุตข้อมูลยังรองรับทั้งสัญญาณแอนะล็อก 4–20 mA และสัญญาณดิจิทัล RS485 จึงรับประกันความเข้ากันได้กับระบบตรวจสอบส่วนใหญ่
เซ็นเซอร์ตรวจสอบอุณหภูมิบรรลุการวัดอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูง-โดยการใช้เทอร์โมคัปเปิลหรือเทคโนโลยีต้านทานความร้อน พารามิเตอร์ประสิทธิภาพที่สำคัญได้แก่ ช่วงการวัด (-50 องศา ถึง +250 องศา ) เวลาตอบสนอง ( น้อยกว่าหรือเท่ากับ 2 วินาที) และความละเอียด (0.1 องศา ) ในการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ไฟฟ้า ท่อเคมี และสถานการณ์ที่คล้ายกัน ความผิดปกติของอุณหภูมิมักทำหน้าที่เป็นตัวการที่ทำให้เกิดความล้มเหลวของอุปกรณ์ ด้วยการอัปโหลดข้อมูลเรียลไทม์-ไปยังแพลตฟอร์มการตรวจสอบ และใช้-เกณฑ์การแจ้งเตือนที่กำหนดค่าไว้ล่วงหน้า เซ็นเซอร์เหล่านี้ช่วยให้สามารถตอบสนองต่อข้อผิดพลาดที่อาจเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว นอกจากนี้ บางรุ่นยังรวม-ความสามารถในการวินิจฉัย-ด้วยตนเองในการตรวจจับความผิดปกติของเซ็นเซอร์ภายใน เช่น การตัดการเชื่อมต่อของวงจรหรือการเสื่อมสภาพของส่วนประกอบ เพื่อป้องกันการแจ้งเตือนที่ผิดพลาดหรือการตรวจจับที่พลาด และเพิ่มความน่าเชื่อถือโดยรวมของระบบการตรวจสอบอย่างมีนัยสำคัญ